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名稱(chēng) | 內(nèi)容 | |
測(cè)量范圍 | Z軸(垂直) | 160μm |
X軸(水平) | 17.5mm | |
分辨率 | Z軸(垂直) | 0.01μm/±20μm |
0.02μm/±40μm | ||
0.04μm/±80μm | ||
測(cè)量項(xiàng)目 | 參數(shù) |
Ra Rz==Ry(JIS) Rq Rt==Rmax Rp Rv R3z R3y Rz(JIS) Rs Rsk Rku Rsm Rmr |
標(biāo)準(zhǔn) | ISO,ANSI,DIN,JIS | |
圖形 | 支承率曲線(xiàn),粗糙度輪廓,直接輪廓 | |
濾波器 | RC,PC-RC,Gauss,D-P | |
取樣長(zhǎng)度(lr) | 0.25,0.8,2.5mm | |
評(píng)定長(zhǎng)度(ln) | Ln= lr×n n=1~5 | |
傳感器 | 測(cè)量原理 | 位移式差動(dòng)電感 |
觸針 | 天然金剛石,90錐角,5μm針尖半徑 | |
測(cè)力 | <4mN | |
導(dǎo)頭 | 硬質(zhì)合金,滑行方向半徑40mm | |
滑行速度 | lr=0.25, Vt=0.135mm/s | |
lr=0.8, Vt=0. 5mm/s | ||
lr=2. 5, Vt=1mm/s | ||
返回 Vt=1mm/s | ||
示值誤差 | 不大于±10* | |
示值變動(dòng)性 | 不大于6* | |
電源 | 內(nèi)置鋰離子充電電池,用DC5V,800mA充電器充電 | |
外形尺寸 | 158x63.5x46mm | |
重量 | 約300g | |
工作環(huán)境 | 溫度:- 20℃ ~ 40℃濕度:< 90*RH | |
儲(chǔ)存運(yùn)輸環(huán)境 | 溫度:- 40℃ ~ 60℃濕度:< 90*RH |
參 數(shù) | 顯 示 范 圍 |
Ra,Rq | 0.005μm ~ 16μm |
Rz,R3z,Ry,Rt,Rp,Rm | 0.02μm ~ 160μm |
Sk | 0 ~ 100 |
S,Sm | 1mm |
tp | 0 ~ 100 |