【探針接觸式輪廓儀】臺階儀,全新美國進(jìn)口臺階儀 性價比高
NanoMap-PS是一款專門為nm級薄膜測量研發(fā)的無需防震臺即可測量的接觸式臺階儀
AFM同款位移傳感器,超高精度
壓電陶瓷驅(qū)動掃描,無內(nèi)源振動
自集成主動反饋式防震系統(tǒng)
*正無需額外輔助防震系統(tǒng),實現(xiàn)高重復(fù)性納米測量
納米量級科學(xué)研究的必備產(chǎn)品
NanoMap-PS
臺階儀可以應(yīng)用在半導(dǎo)體,光伏/太陽能,光電子,化合物半導(dǎo)體,OLED,生物醫(yī)藥,PCB封裝等領(lǐng)域的薄膜厚度,臺階高度,粗糙度(Ra,Rq,Rmax...),劃痕深度,磨損深度,薄膜應(yīng)力(曲定量率半徑法)等定量測量方面。其高精度,高重復(fù)性,自動探索樣品表面,自動測量深受廣大客戶歡迎。
測量表面可以覆蓋多種材料表面:金屬材料、陶瓷材料、生物材料、聚合物材料等等,對于植物表面,生物材料,聚合物表面,光刻膠等“柔軟表面”也可測量無須擔(dān)心劃傷或破壞。設(shè)備傳感器精度高,穩(wěn)定性好。熱噪聲是同類產(chǎn)品的。垂直分辨率可達(dá)0.1nm??蓽y表面,包括透明、金屬材料,半透明、高漫反射,低反射率、拋光、粗糙材料,金屬、玻璃、木頭、合成材料、光學(xué)材料、塑料、涂層、涂料、漆、紙、皮膚、頭發(fā)、牙齒等;
AEP的技術(shù)日新月異。欲了解新的產(chǎn)品性能參數(shù),請與我們聯(lián)系。
主要參數(shù) :
垂直分辨率 0.1nm
垂直量程 1000um
探針接觸力 0.03mg-100mg
平臺范圍 直徑150毫米(可選200毫米或更大)
高清圖像 4級放大,彩色CCD
成像光源 雙長壽命強光LED
金剛石探針 0.5um到25um可選